Komponentët vakum me temperaturë të lartë
Trajtimi termik përfshin kryesisht proceset e oksidimit, difuzionit dhe pjekjes.Oksidimi është një proces aditiv në të cilin vaferat e silikonit vendosen në një furrë me temperaturë të lartë dhe shtohet oksigjen për të reaguar me to për të formuar silicë në sipërfaqen e vaferës.Difuzioni është të lëvizë substancat nga zona e përqendrimit të lartë në rajonin e përqendrimit të ulët përmes lëvizjes termike molekulare, dhe procesi i difuzionit mund të përdoret për të droguar substanca specifike doping në nënshtresën e silikonit, duke ndryshuar kështu përçueshmërinë e gjysmëpërçuesve.
